
Four CVD à lit fluidisé
TOB-1200-LTS-FB est un four CVD à lit fluidisé pour le dépôt de poudre en surface. Le gaz entre au fond du tube de quartz et traverse une plaque de quartz poreuse, suspendant la poudre à l'intérieur de la zone chauffée de 200 mm . 1200 degrés en moins d'une heure, à 1 150 degrés continus.
Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd. est l’un des fabricants et fournisseurs de fours CVD à lit fluidisé les plus fiables en Chine. Bienvenue pour acheter un four CVD à lit fluidisé de haute qualité à un prix compétitif auprès de notre usine. Si vous avez des questions sur la coopération, n'hésitez pas à nous envoyer un e-mail.
Four CVD à lit fluidisé
Spécification
Présentation du produit
Le TOB-1200-LTS-FB est un four CVD à lit fluidisé conçu pour les expériences de dépôt de poudre en surface. Un tube de quartz de haute pureté porte une plaque de quartz poreuse dans sa partie inférieure ; la poudre repose sur cette plaque, le gaz est introduit par le bas du tube et le flux ascendant à travers la plaque soulève les particules afin qu'elles flottent à l'intérieur de la zone chauffée pendant le dépôt.
Le four atteint 1 200 degrés en moins d'une heure et maintient 1 150 degrés en continu, avec une zone de chauffage de 200 mm et une zone à température constante de 100 mm. Le tube est disponible en Φ25 mm ou Φ50 mm avec une longueur de 600 mm, et la plaque poreuse est conçue selon la taille des pores dont votre poudre a besoin. Une coque double couche avec refroidissement par air, un corps de four divisé pour les changements de tubes, une protection de tube en quartz et une soupape de surpression mécanique sont tous standard.
Caractéristiques techniques clés de TOB-1200-LTS-FB
Spécialement conçu pour le dépôt de poudre :la plaque de quartz poreuse et l'entrée de gaz inférieure existent de telle sorte que les particules sont en suspension dans la zone chauffée, et non simplement placées à l'intérieur.
Coque double couche avec refroidissement par air :la peau extérieure reste plus froide qu'un four à paroi simple de même température de chambre.
Corps de four divisé et ouvrable :le corps s'ouvre pour permettre le remplacement du tube de quartz sans démonter le four.
Protection du tube de quartz :un bouclier autour du tube évite les blessures si le quartz se brise sous vide ou sous un choc thermique.
Soupape de surpression de sécurité mécanique :protège contre la surpression si la plaque filtrante poreuse en quartz se bouche.
Chambre en alumine avec revêtement haute température :Isolation en fibre d'alumine de haute pureté avec un revêtement d'alumine haute température importé des États-Unis sur la surface de la chambre, pour une efficacité de chauffage plus élevée et une durée de vie plus longue de la chambre.
Éléments chauffants en alliage HRE :1 200 degrés accessibles en moins d'une heure, 1 150 degrés en continu, précision de ± 1 degré sur un thermocouple de type K.
Ensemble d'étanchéité en inox :assemblage de bride à double joint torique en silicone en standard, avec des ensembles de pompes en option jusqu'à 5 × 10⁻¹ Pa (mécanique) ou 5 × 10⁻³ Pa (turbo).
Spécifications complètes
1. Corps du four et spécifications thermiques
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Puissance de l'équipement | 110V 1,2KW |
| Matériau de la chambre | Matériau en fibre d'alumine de haute pureté |
| Élément chauffant | Fil d'alliage haute température HRE |
| Température maximale | 1200 degrés (en moins d'une heure) |
| Température continue | 1150 degrés (continu) |
| Précision de la température | ±1 degré |
| Thermocouple | Thermocouple de type K |
| Taux de chauffage maximum | Inférieur ou égal à 20 degrés/min |
| Taille de la chambre | 80 mm × 200 mm |
| Longueur de la zone de chauffage | 200mm |
| Longueur de la zone à température constante | 100mm |
2. Tube de quartz et plaque poreuse
| Paramètre | Spécification |
|---|---|
| Taille du tube | Φ25mm ou 50mm × 600mm |
| Matériau du tube | Tube de quartz spécialement conçu de haute pureté |
| Taille des pores de la plaque de quartz poreuse | 4-550 μm, plusieurs spécifications disponibles et personnalisables |
3. Système de vide et de scellage
| Article | Spécification |
|---|---|
| Système d'étanchéité | Standard : un jeu de brides d'étanchéité en acier inoxydable à double joint torique en silicone, avec soupape de surpression de sécurité mécanique et protection de tube en quartz |
| Groupe de pompes mécaniques à vide | 5 × 10⁻¹ Pa (facultatif) |
| Ensemble de pompe à vide et turbo | 5 × 10⁻³ Pa (facultatif) |
4. Dimensions, poids et garantie
| Article | Spécification |
|---|---|
| Dimensions extérieures | 510 mm × 430 mm × 1 000 mm |
| Poids net | Environ 35KG |
| Garantie | Garantie d'un an, assistance technique à vie |
5. Consommables et exclusions de garantie
| Article | Détail |
|---|---|
| Consommables non inclus | L'élément chauffant, le thermocouple, le creuset d'échantillon et les pièces consommables similaires ne sont pas inclus |
| Gaz corrosifs et acides | Les dommages causés par l'utilisation de gaz corrosifs et de gaz acides ne sont pas couverts par la garantie |
Système de contrôle
Le contrôleur fonctionne sur un système d'exploitation intégré avec un écran tactile aux couleurs vraies de 7 pouces. Quatre fonctions sont importantes pour le travail CVD sur poudre répétable :
| Fonction | Détail |
|---|---|
| Courbes de température stockées | 15 courbes de température peuvent être pré-enregistrées, de sorte qu'il n'est pas nécessaire de reconfigurer un processus expérimental différent à partir de zéro |
| Système d'exploitation embarqué | Interface graphique commutable chinois/anglais, entrée sur écran tactile en couleurs vraies de 7 pouces, mode de dialogue homme-machine intelligent |
| Correction de température non linéaire | Correction non linéaire de la température de l'échantillon, pour aligner la valeur affichée sur la température de l'échantillon mesurée |
| Démarrage programmé | Disponible en fonction optionnelle, afin qu'une course puisse être configurée pour commencer à une heure choisie |
| Protection du système | Alarme de surchauffe, indication de rupture de thermocouple et protection contre les fuites |
Les captures d'écran ci-dessous suivent l'ordre des lignes ci-dessus : la bibliothèque de courbes stockées, l'éditeur de courbes, l'interface commutable, la correction non linéaire, le démarrage programmé et les deux alarmes de protection.

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